日本日立SU3500
技术指标： 背散射电子图像
分辨率:4.0nm,30kv ；
二次电子图象分辨率：3.0nm(30KV.WD=5.0mm)；
放大倍率5 - 300,000倍（底片倍率＊5）；
最大样品尺寸 8英寸；
能谱分辨率：129eV ；
元素范围：B4~U95

主要功能： 材料形貌，组织观察。元素定性半定量分析，针对粉末或者比较小的固体样品，可以进行点、线、面扫描测试